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神谷研究室 研究概要
当研究室では、旧来の機械工学の体系では適切な強度評価を行うことのできない電子デバイス等の最先端の微小構造について、 21世紀の新しい強度・信頼性評価手法を提供することを目標にチャレンジを開始しました。先進機能材料である薄膜について、 従来の評価手法を越えて強度評価の概念そのものを新たに提案し、数値シミュレーションを援用したを新しい手法を構築しつつあります。 また、このような電子材料をそのまま機械構造として使用するMEMS(Micro Electro Mechanical Systems:微小電子機械システム)構造の材料信頼性評価についても、新しいアプローチを試みております。
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